Köfnunarefnistríflúoríð (NF3) háhreint gas
Grunnupplýsingar
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Hvað er þetta efni?
Köfnunarefnistríflúoríð (NF3) er litlaus og lyktarlaus lofttegund við stofuhita og loftþrýsting. Það er hægt að gera það fljótandi undir hóflegum þrýstingi. NF3 er stöðugt við venjulegar aðstæður og brotnar ekki auðveldlega niður. Hins vegar getur það brotnað niður þegar það verður fyrir háum hita eða í viðurvist ákveðinna hvata. NF3 hefur mikla hlýnunargetu (GWP) þegar það er sleppt út í andrúmsloftið.
Hvar á að nota þetta efni?
Hreinsiefni í rafeindaiðnaði: NF3 er mikið notað sem hreinsiefni til að fjarlægja afgangsmengun, svo sem oxíð, af yfirborði hálfleiðara, plasmaskjáborða (PDP) og annarra rafrænna íhluta. Það getur hreinsað þessi yfirborð á áhrifaríkan hátt án þess að skemma þau.
Ætsgas í hálfleiðaraframleiðslu: NF3 er notað sem ætargas í framleiðsluferli hálfleiðara. Það er sérstaklega áhrifaríkt við ætingu á kísildíoxíði (SiO2) og kísilnítríði (Si3N4), sem eru algeng efni sem notuð eru við framleiðslu á samþættum hringrásum.
Framleiðsla á háhreinum flúorsamböndum: NF3 er dýrmæt uppspretta flúors til framleiðslu á ýmsum efnasamböndum sem innihalda flúor. Það er notað sem undanfari í framleiðslu flúorfjölliða, flúorkolefna og sérefna.
Plasmamyndun í framleiðslu á flatskjá: NF3 er notað ásamt öðrum lofttegundum til að búa til plasma við framleiðslu á flatskjáum, svo sem fljótandi kristalskjáum (LCD) og PDP. Plasmaið er nauðsynlegt í útfellingu og ætingarferlum við framleiðslu á spjaldinu.
Athugaðu að sérstök forrit og reglur um notkun þessa efnis/vöru geta verið mismunandi eftir löndum, atvinnugreinum og tilgangi. Fylgdu alltaf öryggisleiðbeiningum og ráðfærðu þig við sérfræðing áður en þú notar þetta efni/vöru í hvaða notkun sem er.
